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硅片清洗機(jī)工作原理

發(fā)布時(shí)間:2024-11-16 作者:魯超超聲 點(diǎn)擊:786次

你見過硅片清洗機(jī)嗎?它是怎么工作的呢?

當(dāng)一片晶圓被切割成很多小的硅片之后,會(huì)被放入這個(gè)轉(zhuǎn)盤上。然后通過真空吸盤固定住,接著就進(jìn)入清洗腔體。

這里會(huì)噴射出超純水和三氯氫硅氣體混合物,對(duì)硅片進(jìn)行全方位無(wú)死角的沖洗,以此來(lái)去除表面的雜質(zhì)、金屬離子以及有機(jī)污染物等,以達(dá)到一個(gè)清潔的效果,為下一步的刻蝕做準(zhǔn)備。

整個(gè)過程非??欤恍枰獛酌腌娋湍芡瓿汕逑?,效率非常高。而且它還能通過視覺系統(tǒng)檢測(cè)硅片是否清洗干凈,如果發(fā)現(xiàn)不合格就會(huì)重新洗一遍

清洗完后,再通過傳送帶輸送到下一工序中。不得不說,這玩意真是科技與狠活啊!


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